傳感器的觸針由金剛石制成，針尖圓弧半徑為2微米，在觸針的后端鑲有導(dǎo)塊，形成一條相對于工件表面宏觀起伏的測量的基準(zhǔn)，使觸針的位移僅相對于傳感器殼體上下運動，所以導(dǎo)塊能起到消除宏觀幾何形狀誤差和減小紋波度對表面粗糙度測量結(jié)果的影響。電動輪廓儀是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進(jìn)行測量的，是接觸測量。其主要優(yōu)點是可以直接測量某些難以測量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀。但是被測表面容易被觸針劃傷，為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測量壓力。

以鉸鏈形式和驅(qū)動箱連接，能自由下落，從而保證導(dǎo)塊始終與被測表面接觸，精度保證由液壓或者氣浮導(dǎo)軌等高精密裝置完成。

測量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。采用電感式傳感器，傳感器的一端裝有觸針，其尖端表面與被測表面接觸，當(dāng)傳感器以勻速水平移動時，被測表面的峰谷使探針產(chǎn)生上下位移，使敏感元件的電感發(fā)生變化，從而引起交流載波波形發(fā)生變化。