裝修室內(nèi)墻壁和頂棚表度面，應(yīng)符合平整、光滑、不起灰、便于除塵等各項要求，以盡量減少凹凸面，并將陰陽角做成圓角，還應(yīng)采用高級抹灰標準。無塵車間裝修對建筑圍護結(jié)構(gòu)進行裝修時，應(yīng)選用氣密性較為良好，且在高溫高百濕狀態(tài)下不易變形的材料。而其墻面內(nèi)部，則應(yīng)選擇不可燃的附加構(gòu)造骨架和保溫層。為了統(tǒng)一潔凈室的空氣潔凈度等級、各類技術(shù)要求，世界各國都陸續(xù)制定了各自的潔凈室標準，著名的美國之音FS209標準便是從1963年開始制定發(fā)布實施的，到1992年已從209A不斷修改變化為。潔凈室標準是源于各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)、產(chǎn)品性能的不斷研究開發(fā)、升級和各種使用要求，對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高，尤其是半導體集成電路的高速發(fā)民是潔凈度等級的擴大和控制微粒粒徑日益嚴格的重要標志；潔凈室標準也源于潔凈技術(shù)的研究開發(fā)和發(fā)展。因此潔凈室標準的實施，對潔凈室的設(shè)計建造和運行具有重要性、實用性，它的統(tǒng)一技術(shù)要求，嚴格的技術(shù)條件規(guī)定，統(tǒng)一的檢測方法以及明確、嚴格的安全技術(shù)規(guī)范，都已成為建設(shè)潔凈室工程的主要依據(jù)。

在對地面進行裝修時，應(yīng)符合平整、耐磨、易除塵、好清洗、防靜電等要求。無塵內(nèi)車間和人員用室的外窗，應(yīng)為雙層玻璃金屬結(jié)構(gòu)，以保證其良好氣密性。

在安裝密閉門時應(yīng)將其向著空氣潔凈度高的房間開容啟，其門窗、墻壁、頂棚、地面的構(gòu)造和施工縫隙等處，均應(yīng)加固有可靠的密封性保障措施。