真空爐完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關系極大。對環境無污染，不需進行三廢處理。爐溫測定、監控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環，仍可控制在±5°c溫差范圍內。真空淬火（回火、退火）就是通過把材料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理方法。真空釬焊即在真空狀態下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和流動形成焊縫的一種焊接工藝（釬焊溫度因材料不同而異）。

真空爐，機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎上，工件移動、氣壓調節、功率調節等均可預先編程設定，按步驟實施淬火和回火。

真空爐能耗顯著低于鹽浴爐。現代先進的真空爐加熱室采用優質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節能效果顯著。