研磨盤是用于涂敷或嵌入磨料的載體，使磨粒發揮切削作用，同時又是研磨表面的成形工具。能旋轉的圓盤、圓柱、圓錐體、平板、油石、薄板、管子、環圈和特制的定形研磨盤，都可作研磨工具。研磨盤的材料、應較工件材料軟，以使研磨粉粒能嵌入研磨盤的表面，研磨盤用生鐵、軟銅、紫銅、黃銅、鉛、硬木制成。鉛和硬木只是在使工件研磨具有后尺寸后，為加光而用的。研磨劑中硬的是金剛石粉；用金剛石粉研磨淬火硬化的硬件。但是金剛石粉的價格甚貴，因此很少使用。次硬的是金剛砂。再其次是剛玉粉、碳化硅和鐵丹粉。常用的是金剛砂。研磨制程的完成，是以定時或定厚度(磨除量)為主。其中定厚度的方法，是利用一厚度探針，來感應晶片的厚度，一旦達到設定的厚度，機臺便會慢慢減壓而停止研磨。

用不同的研磨盤，則要求用不同種類的潤滑劑。生鐵研磨盤需用煤油或汽 油作潤滑劑。軟鋼研磨盤——用機油。銅研磨盤——用機油、酒精、碳酸水。凡對銅表面的質量要求特別高時，就用酒精稀釋的滑石粉或用凡士林混合的鐵丹粉作潤滑劑。研磨鋁時，用甲苯稀釋的矽藻土和硬脂酸或用木質油稀釋的硅藻土作潤滑劑。研磨銅合金時，用機油和脂肪作潤滑劑，把選定的潤滑液和研磨粉混合，然后把混合物仔細地涂擦。

研磨盤本身在研磨過程中與工件是相互修整的，研磨盤本身的幾何精度按一定程度“轉寫”到工件上，故要求研磨盤的加工面有高的幾何精度。