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PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用國外進的白光干涉掃描技術研制的納米量級形貌測量儀器，透過精密的掃描系統和自主專利的解析算法，進行樣品表面微細形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的完美結合，只需數秒鐘，就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數的測量結果。
系統采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結構支撐，具有出色的穩定性。測量過程簡便而快速，只需把被測物體放置到載物臺，聚焦出干涉條紋，按下測量按鈕即可開始整個測量過程。
標準配置采用五軸手動調整載物平臺，可依據不同測試要求做彈性調整，并可選配電動載物平臺，以實現自動定位、自動聚焦、自動縫合之大面積高精度的量測要求，樣品均不需前處理即可進行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。